asml的euv光刻机,为何asml全新的光刻机不卖给我国

大家都知道,在芯片生产过程中,光刻机是绕但是的机器设备,假如从一个生产制造看来,光刻机的费用占总机器设备费用的30%。

最核心的是,当进到到7nm工艺后,务必要使用EUV(极紫外光)光刻机,这类光刻机仅有西班牙ASML可以生产制造,且生产能力比较有限,厂商们要购到,并不易,要清除,且ASML要优先选择供货tsmc,三星,intel这几个公司股东。

因此一直以来,大伙儿都会找寻其他方法,例如无需EUV光刻机,能否生产制造7nm及下列的芯片?实际上,也是有厂商是那么想并准备那么干的,由于根据DUV光刻机开展多重曝光,理论上可以做到7nm。

但这类方法比较复杂,对技术规定十分高,与此同时合格率低,圆晶的耗损较为大,因此要是可以购到EUV光刻机,就不太可能用这样的方法,这类方法生产制造下来的芯片,彻底沒有竞争能力。

而近日,日本厂商搞出了最后一种方法,那便是不选用DUV多重曝光,只是开发设计了一种新的NIL制造技术,这类技术不用EUV光刻机,就可以将芯片制造送到5nm。

这个厂商便是日本的储存大型厂铠侠Kioxia(飞利浦),它与日本的电子光学/半导体材料厂商佳能eos,也有光罩/半导体材料厂商大日本包装印刷株式(DNP),通过了四年的产品研发,总算产品研发出了纳米技术印压影视(NIL) 的批量生产技术。

现阶段铠侠已经将其运用到15nm的NAND闪存芯片生产制造上,并表明到2025年应当能够运用到5nm的芯片生产制造上。

铠侠表明,NIL 技术与EUV光刻技术技术对比,能够大幅的降低能耗,转换高效率,用电量可放低至EUV 技术的10%,与此同时NIL技术下的机器设备也划算,与ASML的EUV光刻机对比,项目投资可减少至仅有EUV 机器设备的40%。

但是也是有专业人员强调,NIL技术或许可以推动芯片制造至5nm,但很有可能更融入于NAND这类3D层叠的闪存芯片芯片,不一定适用大多数的芯片。

但是协作厂商之一的佳能eos,则表明要勤奋的将NIL 批量生产技术普遍的运用于制做DRAM 及PC 用的CPU 等逻辑性芯片的机器设备上。

针对这一技术,不清楚大伙儿如何看?假如确实可以推动至5nm,且用以除NAND以外的通用性芯片,那麼ASML就终将走下圣坛。

乃至从一定水平来讲,也是国内芯的喜讯,你觉得?针对那样的弯道超越的技术,真期待它可以多一点,而且是我国厂商产品研发的就好了。

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