光刻技术可以说成半导体设备中最重要的一步。今日最领先的 EUV 光刻机是极为非常的设备，其成本费与一架新的空客喷气式客机一样高。

从 1984 年与东芝的中外合资企业逐渐，ASML 早已发展趋势变成世界第二大集成ic机器设备生产商，也是 EUV 设备的唯一经销商。

实际上，英国可以说成光刻技术的发明人，在这篇文章中，大家凑合她们为什么创造发明了光刻技术，却最后沒有光刻机就可以了简略剖析。

必须提一下，文中剖析构思是由于对飞兆半导体材料、David W Mann Co、Cobilt、GCA、nikon和美国硅谷集团公司 (SVG) 等先行者的访谈。

早在 1950 时代中后期，贝尔实验室就逐渐试着将图象打印出到硅块上。那十年中后期，飞兆半导体材料改善了加工工艺以创造晶体三极管。

“我们决定应用光刻胶来描述这种地区，”仙童最开始的八位创始人之一杰伊·拉斯特和克莱伦·诺伊斯说。

“贝尔实验室在那里干了一些勤奋，并觉得这也是不太可能的，因此她们从没追求完美过这一方位。克莱伦[诺伊斯]和我和柯达相机协作，她们给了大家曾经最好是的光刻胶，大家慢慢与她们构建了工作中关联，光刻胶不也断改善。”

“尽管在这里全过程中有很多技术性难题和技术性挫败，但大家仅仅说我们要应用它，大家务必让它充分发挥——大家保证了。”

在 1960 时代，触碰掩模对准器（contact mask aligners ）被用以圆晶包装印刷，Kulicke & Soffa首先将其商业化的。之后，Kasper Instruments 变成关键经销商，但当三位前 Kasper 技术工程师创立自身的企业 Cobilt 时——该企业于 1972 年被墨尔本 CAD 大佬 Computervision 回收——发生了一种新的圆晶包装印刷方式。

“Cobilt 生产制造了机械设备指向器（mechanical aligners），该指向器以合乎那时候规范的领先技术性打印出半导体材料单晶硅片。而且 Computervision 有一个全自动两端对齐包，可以使你更精准地两端对齐层，“Sam Harrell 说，他从 Computervison 搬到西海岸新区，变成 Cobilt 的工程项目高级副总裁。

“我们在世界各国市场销售了数百台设备。直至投射复印机占有主导性以前，它才算是主宰。”

在添加 Cobilt 以前，曾在 Kasper 市场销售牙齿矫正器的 Ed Segal 在Perkin-Elmer 开发设计出projection mask aligner后，亲眼看到Cobilt 怎样丧失领先水平。

“当掩模对准器从触碰掩模对准器进到到说白了的投射指向器（projection mask aligner）或将掩膜图象投射到圆晶处时，Perkin-Elmer 彻底进到并攻占了这一销售市场，”Segal说. “Cobilt 尝试修建一个，但它的确是一个特别大的不成功。1981 年，该企业最后被卖给了应用材质企业。”

Jim Gallagher 在 GCA 运营半导体行业业务流程，GCA 在 1980 时代将销售市场割地给日本企业以前是光刻技术行业的世界管理者。在尼康和佳能等日本经销商变成市场领导者以后企业的最后亡国。

“大家逐渐尽大家能够售卖业务流程。可是如果你走下坡的情况下，可以那么说，这不是逐渐市场销售的情况下，由于你所做的是，每一个人都了解你的问题，她们会得出最少、最少的价钱。因此那就是大家ppt的逐渐，”Gallagher说。

到 1980 时代中后期，日本步进电机经销商的主导性让英国集成ic生产商觉得忧虑。为了更好地开发设计取代来源于，intel与西方企业 Censor 协作。殊不知，试着失败了，Censor 于 1984 年被卖给了 Perkin-Elmer。

intel创始人戈登克分子追忆了那时候的忧虑。“来源于佳能eos和nikon步进电机机特性非常好。在国外沒有相比的机器设备，这也是全部流程中十分重要的一部分。”

“我们与列支敦士登的一家企业[Censor]有一个主要的方案来生产制造步进电机器。这比较复杂也十分价格昂贵，并且开发设计速率很慢，她们没法真真正正对销售市场造成危害。大家最后选购了日本机器设备，因为它是最好是的，并且沒有真正意义上的取代来源于。”

Shoichiro Yoshida 之后变成nikon的CEO，他设计方案了该企业第一台用以半导体设备的步进电机反复设备。

1990 时代，SVG 在新任职的CEO Papken Der Torossian 的带领下拓展到光刻技术行业。SVG 曾尝试回收 GCA，但买卖从没完成，GCA 于 1988 年被售卖给 General Signal。

殊不知，Der Torossian 取得成功地得到了由 Perkin-Elmer 与 IBM 合作开发的下一代步进电机扫描仪系统软件 Micrascan——但他表明，这必须数百万的研制和2年半的时间段才可以进行。系统修复中的不正确。結果是 Micrascan II。

“她们的设备不能工作中——均值常见故障时间间隔不上一小时。IBM 没法应用它。但它有着很好的基本技术性，”他说道。

Der Torrossian 表述道，现钱紧缺让英国缺失了保存优秀光刻技术的机遇。

“在 1992 年，ASML 已经规模性资金投入。有着他们的东芝找我聊，并以 6000 万美金的价钱售卖 ASML。我并没有 6000 万美金。我告诉她们，但我想让你同样总数的股权，使我们制定一个中外合资企业。但有人说，‘不，东芝必须现钱。’”

到 2001 年，ASML 扭曲了局势，最后以 16 亿美金回收了英国最终一家一般的光刻技术企业 SVG。因为国家安全隐患，该笔成交被延迟了好多个月，但在 ASML 允许脱离 SVG 的 Tinsley Labs 单位后，最后取得了乔冶·W·美国总统布什政府部门的准许。

来源于：全球优秀技术性生产制造社区论坛