集微网信息（文/姜翠）6月10日，盛剑自然环境在投资者互动服务平台上表明，企业在很多年工艺废气治理工作经验的累积基本上，从2017年逐渐就合理布局产品研发、生产制造L/S等泛半导体工艺制程附设设备，已获得了众多成效。现阶段企业L/S设备特性已做到海外同行业水准，而且具有更强的性价比高；尤其是交货工作能力、组装校准及售后维修服务响应时间、文化整合生产制造供应链管理适用层面有比较突出的优点。

其填补道，在L/S等泛半导体工艺废气治理设备业务流程层面，国际性设备经销商关键有Edwards Ltd、DAS Environmental Expert GmbH、Kanken Techno等。以上生产商现阶段在我国市场占有一定市场占有率。伴随着中国泛半导体领域的高萧条度发展趋势，尤其是国产替代和供应链管理安全性的趋势下，企业做为我国本土的泛半导体工艺废气治理系统解决方法服务提供商及制程附设设备经销商遭遇不可多得的时间机会和进步室内空间。

据统计，公司设计、生产制造的泛半导体制程附设设备包含 L/S、LOC-VOC。

L/S 是 Local Scrubber 的通称，是泛半导体工艺设备PFCS污染物质解决设备，用以对制程全过程中形成的含氟量、氯、硅等因素为象征的化学成分比较复杂的有害有危害烟气开展根源解决，该设备一端与泛半导体加工厂工艺设备相接，根据机械泵提取工艺设备内发生的有机废气并开展溶解；另一端与中间整治系统相接，将细化后的尾排汽体排入中央处理设备并完成后期解决。L/S属于泛半导体工艺制程设备的一部分，其运转可靠性及气体处理高效率规定高。

LOC-VOC是一种泛半导体净化室EHS解决设备，用以解决清洁房间内弥漫的VOC汽体，用以确保生产制造职工的职业健康检查和安全性。泛半导体领域生产线一些地区循环系统风里带有一定量的挥发物VOCs汽体，危害职业健康检查和商品合格率。带有VOCs的空气根据活性碳，VOCs被吸咐，清洁汽体排入生产车间，小排风量的高溫汽体从活性碳上脱附出浓度较高的的VOCs，排入VOCs中央处理设备，集中统一处理达到环保标准，有利于提升顾客制程的商品合格率。

此外，盛剑自然环境在光电显示、电子器件等泛半导体产业链工艺废气治理行业具备先进的竞争能力和技术创新能力，有着多种自主研发的关键技术成效，商品主要包含系统产品及设备类产品。系统产品包含泛半导体工艺废气治理系统、湿电子化学品供货与回收利用再造系统，以订制化的开发设计方案、生产加工生产制造、系统集成化及运维服务为关键生产模式，现阶段关键核心设备可以完成自产自销或订制化设计方案；设备产品包含工艺排汽管道、中间废气治理设备、泛半导体制程附设设备等。

材料表明，盛剑自然环境主要经营的业务为致力于泛半导体工艺废气治理系统及重要设备的开发设计方案、生产加工生产制造、系统集成化及运维服务,专注于为顾客订制化给予安全可靠稳定性的废气治理系统解决方法,为产业链翠绿色生产制造创造财富。企业关键产品服务有工艺废气治理系统解决方法、废气治理系统及设备。

（审校/Andy）