集微网信息，碳化硅功率器件在汽车等主要用途正加快渗入，呈现极大市场潜力，也吸引住各界生产商增加提产幅度，继Wolfspeed第一条8英寸线建成投产后，博世集团、Rohm、英飞凌、飞利浦最近也纷纷宣布了碳化硅产线的改建、新创建方案。

和传统硅晶圆产线对比，碳化硅加工工艺增添了对设备的不同需求。

意法半导体车配功率器件项目主管Giuseppe Arena表示，因为宽带隙原材料独有的物理学特点，碳化硅加工工艺在外延生长、干法刻蚀、高温退火等各个环节和传统硅基功率器件有较大不一样，必须专门的室等模块设计以操纵缺点、提升产出率，在蚀刻、薄化等各个环节也要特殊工具解决。

伴随着工艺和设备走向成熟，一些IDM公司正考虑到将落后的6英寸硅晶圆产线，改造为碳化硅产线，业内权威专家可能只需2000万美元的项目投资调节加工工艺，购置少许专用型设备，就能够完成这种产线更新改造。

现阶段这一领域也开始出现职责分工系统化迹象，X-Fab等企业已进军碳化硅代工生产业务流程。

地处英国苏格兰的Clas-SiC就经营着一条6英寸碳化硅代工生产产线，产线上面有10-15%是专用碳化硅设备，其他绝大多数设备翻修自硅晶圆产线，该公司负责人Rae Hyndman表示，碳化硅业内购置二手设备一样遭遇交货期短板。

碳化硅行业前景看中，也吸引住设备生产商在这一领域加大力度，泛林技术专家David Haynes表示，对于硅晶圆工艺开发的设备，在对待碳化硅衬底时所面临的一同考验便是后面一种在能见光和近红外光区几近全透明，检验控制模块必须目的性提升。

另一设备大佬应用材质也已发布几款专用型碳化硅设备，其对于碳化硅独特物理学特点定制的CMP设备据悉可显著降低碳化硅圆晶表面缺陷，盛美业务发展趋势主管Sally Ann Henry分析称，现阶段碳化硅专用型设备销售市场仍然处于初期发展过程，绝大多数IDM仍经营6英寸产线，预估新建的8英寸生产能力将于2024年逐渐集中化释放出来，针对头顶部生产商来讲，“适配的设备”（bridge tools）将具有诱惑力，这种设备可以直接在6英寸产线导进，因其配置有最先进检验控制模块，在拆换工装夹具、上下料等板块后能够快速兼容未来8英寸产线。（审校/朱秩磊）