做为芯片制造前道工序不可缺少的机器设备,光刻机因为价格比较贵、结构繁杂,被称作是制造业王冠里的“耀眼明珠”。在其中DUV光刻机广泛应用于28nm/14nm等完善芯片制程,EUV光刻机广泛应用于5nm下列等优秀芯片制程。在全球范围内光刻市场里,西班牙大佬ASML真的是一家...