处理芯片可以一直向缩微方位前行，5nm加工工艺批量生产后，还能再次向3nm、2nm发展趋势，光刻机有目共睹。尤其是EUV光刻机，也是高档制造处理芯片制造中最重要的主要机器设备。可以说，光刻机确定了处理芯片技术的技术水准。我们要在集成ic上不被受制于人，就务必突破光刻机。...